機器詳細

X線光電子分光分析装置


(株)島津製作所
AXIS Nova

物質の極表面(数nm)の元素分析(HとHeを除く)ができる装置です。ごく表面の定性分析の他、面分析により元素の分布状態観察(元素マップ)を行うときに使用します。また、アルゴンエッチングを適宜行うことで表層部下の深さ方向の元素分析もできます。